三維云紋干涉儀由于采用柵線密度為600-1200線/毫米甚至超過2000線/毫米的高密度衍射光柵作為試件柵，其測量靈敏度和全息干涉法、散斑干涉法一樣，可達到波長量級，比傳統(tǒng)云紋法要高出30—120倍。此外，這種方法還具有全場分析、實時觀測、高反差條紋，以及直接獲取離面內位移場和應變場等優(yōu)點。近幾年來，云紋干涉法在基本理論、實驗技術、試件柵復制工藝等方面正趨于完善，而且已經在應變分析、復合材料、斷裂力學、殘余應力測量等方面獲得了成功的應用，是一種具有發(fā)展和應用前景的新的實驗力學方法。

　　三維云紋干涉儀是在二維面內云紋干涉儀的基礎上增加離面云紋測量的儀器系統(tǒng)，該離面位移的測量系統(tǒng)實際是一種干涉光路。由于測量條紋直觀，靈敏度十分高，所以云紋法得到廣泛應用。

　　一、儀器配置及參數

　　準直鏡直徑f150~200mm，K9光學玻璃，非球面，焦距450mm~600mm;

　　氦氖激光：功率20mw、(波長632.8nm外腔式氦氖氣態(tài)偏振激光或波長532nm固體泵浦激光);

　　f4過半球擴束鏡;

　　λ/4高能全反射鏡，反射率≧99%;

　　最大位移靈敏度：離面0.316微米(λ/2);面內0.417微米(1200線/mm);

　　最大測試范圍0.1~35mm2;

　　放大倍數0.2~200倍;

　　條紋分辨率100條/mm;

　　圖像采集卡：進口高速采集卡、256灰度、30幀/秒;

　　CCD攝像：Watec-902H、靈敏度0.01流明、分辨率570線;

　　成像鏡頭：焦距50的CCTV定焦頭;

　　加載系統(tǒng)：實現拉壓彎三種載荷模擬及相應自由度調節(jié)機構，帶有力傳感器及數碼顯示;

　　力傳感器：量程1500N、精度±1N;

　　進口相移驅動器：相移靈敏度:∽20nm/V，單通道，最大量程150V;

　　二、選配件

　　A)隔振臺：2m×1m;臺高800mm、主動式氣墊隔振、5Hz;

　　B)全息云紋光柵：已經轉移好正交柵的試件;

　　光柵頻率：1200或600lines/mm

　　正交性：π/2±0.5x10-4

　　衍射效率：大于入射光強的10%

　　光柵面積：15mm×20mm

　　基底尺寸：25mm×100mm

　　基底材料：有機玻璃或鋁合金

　　零場：≤1級條紋